• الرئيسية
  • عن الكلية
    • لمحة عامة
    • رسالة واهداف الكلية
    • عميد الكلية
    • كلمة العميد
    • معاون العميد العلمي
    • معاون العميد الاداري
    • أمين مجلس الكلية
    • الهيئة التدريسية
    • شعار الكلية
  • اقسام الكلية
    • قسم علوم الحياة
      • رئيس قسم علوم الحياة
      • صفحة القسم
      • الخطة الاستراتيجية لقسم علوم الحياة
    • قسم الكيمياء
      • رئيس قسم الكيمياء
      • صفحة القسم
      • الخطة الاستراتيجية لقسم الكيمياء
    • قسم الحاسوب
      • صفحة القسم
      • رئيس قسم علوم الحاسوب
      • الخطة الاستراتيجية لقسم الحاسوب
  • الخدمات الالكترونية
    • ادرس في العراق
    • التأهيل و متابعة الخريجين
    • المكتبة الالكترونية
    • مكتبة الكلية
    • روابط المحاضرات الالكترونية
    • الوحدة الارشادية
    • توصيف المقررات
    • نظام الأفراد الموحد
    • نظام الطلاب الموحد
  • قوانين وتعليمات
    • مهام الكلية
    • تدريسيين الكلية
    • نموذج صفحة التدريسي
    • الشعب والوحدات الادارية
    • شعبة الشؤون العلمية
  • استمارات ونماذج
    • نموذج السيرة الذاتية للتدريسي
    • استمارة الخطة التدريسية
    • البحوث
  • English
  • العربية
  • English
  • 009647726981148
  • admin@uodiyala.edu.iq
  • الاحد - الخميس: 7 ص - 3 م
Twitter Telegram Instagram Youtube Facebook-f
كلية التربية للعلوم الصرفة | جامعة ديالى
  • الرئيسية
  • عن الكلية
    • لمحة عامة
    • رسالة واهداف الكلية
    • عميد الكلية
    • كلمة العميد
    • معاون العميد العلمي
    • معاون العميد الاداري
    • أمين مجلس الكلية
    • الهيئة التدريسية
    • شعار الكلية
  • اقسام الكلية
    • قسم علوم الحياة
      • رئيس قسم علوم الحياة
      • صفحة القسم
      • الخطة الاستراتيجية لقسم علوم الحياة
    • قسم الكيمياء
      • رئيس قسم الكيمياء
      • صفحة القسم
      • الخطة الاستراتيجية لقسم الكيمياء
    • قسم الحاسوب
      • صفحة القسم
      • رئيس قسم علوم الحاسوب
      • الخطة الاستراتيجية لقسم الحاسوب
  • الخدمات الالكترونية
    • ادرس في العراق
    • التأهيل و متابعة الخريجين
    • المكتبة الالكترونية
    • مكتبة الكلية
    • روابط المحاضرات الالكترونية
    • الوحدة الارشادية
    • توصيف المقررات
    • نظام الأفراد الموحد
    • نظام الطلاب الموحد
  • قوانين وتعليمات
    • مهام الكلية
    • تدريسيين الكلية
    • نموذج صفحة التدريسي
    • الشعب والوحدات الادارية
    • شعبة الشؤون العلمية
  • استمارات ونماذج
    • نموذج السيرة الذاتية للتدريسي
    • استمارة الخطة التدريسية
    • البحوث
  • English
  • العربية
  • English

مقالات

  • Home
  • Blog
  • مقالات
  • فيزياء البلازما واهمية استخدامها في عملية  حفر الدوائر الالكترونية

فيزياء البلازما واهمية استخدامها في عملية  حفر الدوائر الالكترونية

  • Categories مقالات
  • Date يونيو 16, 2019
  • Comments 0 comment

البلازما

        تتكون البلازما مـن أيـونات مـوجبة الشحنة وإلكترونات سـالبة بالإضافة إلى ذرات متعادلة  يعد العالم Langmauir  أول من أطلق تسمية البلازما على حالة تأين الغاز وكلمة بلازما إغريقية الأصل تعني لغوياً المادة الجلاتينية  .

تتواجد المادة في الطبيعة بثلاث حالات هي الصلبة ، السائلة والغازية وهناك الحالة الرابعة وهي البلازما والصفة التي تميز حالة عن أخرى تكمن في قوة ربط الأواصر بين الدقائق المكونة للمادة حيث تكون هذه القوة كبيرة جداً في الحالة الصلبة وضعيفة في الحالة السائلة وشبه معدومة في الحالة الغازية ومعدومة تقريباً في حالة البلازما ، من الممكن أن تتحول المادة من حالة إلى أخرى تحت شروط معينة لذلك يعتبر هذا التغير طوري للمادة ، أما بالنسبة للبلازما فأنها تحدث تدريجياً بازدياد درجة حرارة المادة الغازية لذلك لا يعتبر تحول المادة من الحالة الغازية إلى حالة البلازما تحولاً طورياً.

تعرف البلازما على أنها غاز متأين جزئياً أو كلياُ الا أن مفهوم البلازما هو أشمل من ذلك بكثير ، إذ يمكن أن توجد البلازما ضمن الحالة الصلبة أو الحالة السائلة للمادة أيضاً  ، كما هي الحال في أشباه الموصلات إذ توجد وبشكل دائم شحنات موجبة هي الفجوات Holes والكترونات حرة الحركة فأن وجود الأيونات الموجبة والسالبة ضمن محلول مائي الكتروليتي يقع ضمن مـفهوم البـلازما ، إلا أن دراسة البلازما فـي حالتها الغازية كـانت ولا تزال الـدراسة الأكـثر شيوعاً مـن الناحيتين النظرية والعملية لأنها تشكل الحـالة الأوسع وكـذلك لأهميتها الكبيرة.

أن الغلاف الجوي والشمس والنجوم هي في الحقيقة بحالة بلازما وفي حياتنا اليومية تتكون البلازما عند الصواعق والإعلانات الضوئية ( تأين جزئي ) وهذا يعني أننا نعيش في %1 مـن الكون وهـو الجزء الذي لا تتكون فيه حالة البلازما  .

أهمية الحفر بالبلازما 

       أن التطور السريع الـذي شـهدته صناعة نـمائط أشباه الموصلات دفعت البـاحثين  بالتوجـه إلـى استنباط طـرائق حـديثـة غـير نـمطية لتجـاوز الاخـتناقات والمحـددات التي رافـقت عـملية تـوظيف أصغر مــساحـة ممكـنة لاكبر عـدد مـن الـدوائــر الإلكـترونـيـة والتـي تجــاوزت مقياس ،

 ( VLSI ,103 – 105 devices/circuit) الى (ULSI >106 devices/ circuit ) حـالياً  ، وكـان أحـد هـذه الحلول هـو أستخدام بـلازما التفريغ المتوهج فـي عملية الحفـر بـالبـلازما كمرحلة أساسية فـي تـصنيع النمائط الإلكترونية الدقيقة ( Manufacturing  Microelectronic) .

أبتـدأ العـالـم بـأستخــدام عـمليـات الحـفر الكيميائـي الـرطب (Wet Chemical Etching) حيث يتم غمر الأساس(العينة) (Substrate) في محلول كيميائي ونتيجة حصول التفاعلات الكيميائية تتحقق عملية الحـفر الكيميائي (Chemical Etching )  ، الا أن هذه العملية عليها مـآخذ كثيرة منها عـلى سبيل المثال حـصول حـفر متباين (Isotropic Etching) ، مكلفة ، غير أمينة ، تسبب تلوث بيئي ومحدودة الامكانيات .

في نهاية القرن العشرين ظهرت حاجة عمليات تصنيع النمائط الالكترونية الدقيقة للحصول على حفر أخاديد ذات أبعاد حجمية صغيرة جداً (Sub-micro) في الاساس الذي يستخدم في صناعة الدائرة الالكترونية بقياس VLSI ULSI , ، لذلك أصبحت عملية الحفر الكيميائي الرطب غير قادرة على تحقيق المستلزمات أعـلاه.

هنا بـرزت الاهمية الى البحث فــي مجال أستنباط ماهو جديد فـي مجال التقنيات العلمية لمواكبة حـركة التطور السريع والنمو الهائل للصناعات الإلكترونية الـدقيقة وذلـك لتجـاوز مـحددات الحـالة التقليدية ونتيجة البحــث العلمي المستمر تمـكن البـاحـثون الـرواد ومنهم البــاحثان (Castaing & Broers) فـي نهاية الستينات مـن أستخدام البـلازما فـي عـمليات الحفـر واطـلق عـليها تسمية التفريز ألايـوني (Ion Milling) ، هـذا التطور حقـق إمكانية التوسع في عمليات حفر المعادن وأشباه الموصلات والعوازل لأغـراض تطبيقية (4) .

وبـذلك تـم فتح آفـاق واسعة للتطور في هذا المجال الحيوي ، قام الباحثون بحفــر رقائـق السيليكـون المخـتلفة الأنـواع بـاستخـدام عـدة غـازات منـها(  CF4 , SF6  CF3Br, ( ClF3 ,  ولم يقتصر العمل على حفر السيليكون فقط بل تعدى الأمر الى حفر الألمنيوم ، التيتانيوم ، الجرمانيوم والتنكستن.

 تشكل البلازما  نسبة كبيرة مـن الكون الذي نعيش فيه الا أن توظيف ذلك في مجال الصناعات الحـيوية بـدأ متأخـراً عـلماً أن الربـع الأول مـن القرن الماضي شهد ظـهور مـفهوم البـلازما والاهـتمام بـها عـلى يـد البـاحـثيـن (Langmuir & Tonks) بعد أن كان مفهوم الغاز المتأين هو السائد، استحوذت دراسة فيزياء البلازما باهتمام العلماء والباحثين لأغراض تعميق المفاهيم الفيزيائية ومن ثم توظيفها صناعياً لما تمتلكه من إمكانيات كافية يمكن الاستفادة منها في مجالات الصناعة.

 

 

 

 

                                                                                      الاستاذ المساعد / انتصار كاظم عبد

                                                                                قسم الحاسوب / كلية التربية للعلوم الصرفة

 

  • Share:
author avatar
admin5001

Previous post

تمديد التقديم للدراسات العليا
يونيو 16, 2019

Next post

مساعد رئيس الجامعة للشؤون الادارية يزور كلية التربية للعلوم الصرفة
يونيو 17, 2019

You may also like

33f7c4c2-b009-4b8d-83f5-e24b4aa52aab
انواع انظمة الفهرسة في قاعدة بيانات XML
5 يوليو, 2021
cfa7bfc8-baf2-4e4e-b09e-857595846874
التدخين ومضادات الاكسدة (Smoking and Antioxidants)
19 فبراير, 2020
6439bb0b-b4f2-469b-9be9-077c56f5e28e
ما هي XML و ما اهميتها
23 سبتمبر, 2019

Leave A Reply إلغاء الرد

لن يتم نشر عنوان بريدك الإلكتروني. الحقول الإلزامية مشار إليها بـ *

Search

آخر المواضيع

خطة الدراسات العليا في كلية التربيةللعلوم الصرفة/جامعة ديالى للعام الدراسي 2023-2024
28مارس2023
لجنة وزارية من وزارة التعليم العالي والبحث العلمي تزور الكلية
26مارس2023
كلية التربية للعلوم الصرفة تختتم دورة التقوية الثانية  للعمل في المختبرات الطبية
26مارس2023
دراسة في كلية التربية للعلوم الصرفة تناقش تأثير التسميد العضوي والحيوي في حاصل وزيت بذور الحبة السوداء
Nigella sativa L ومحتواها من الاحماض الدهنية
20مارس2023
كلية التربية للعلوم الصرفة تقيم المعرض العلمي للانتاج السنوي
20مارس2023
دراسة في كلية التربية للعلوم الصرفة جامعة ديالى تناقش تأثير البروتينات المثبطة للرايبوسوم على بعض جينات عوامل الضراوة في خميرة Candida albicans المعزولة من مصادر سريرية مختلفة
19مارس2023

كلية التربية للعلوم الصرفة | جامعة ديالى

  • العـراق، ديـالــى، بعقــوبة
  • 009647726981148
  • admin@uodiyala.edu.iq
  • الاحد - الخميس: 7 ص - 3 م

شؤون الطلبة

  • الدراسة الاولية
  • الخريجين
  • الدراسات العليا
  • نظام الطلاب الموحد
  • متابعة الخريجين

المكتبة

  • مكتبة الكلية
  • المكتبة المركزية لجامعة ديالى
  • المكتبة الالكترونية

عن الكلية

  • مهام الكلية
  • تدريسي الكلية
  • احصائيات الكلية
  • الشعب والوحدات الادارية
  • شعبة الشؤون العلمية

اقسام الكلية

  • قسم علوم الحياة
  • قسم الكيمياء
  • قسم الحاسوب

راسلنا..

Copyright © 2022 puresci.uodiyala.edu.iq, All Rights Reserved | website by MISBARcom